
JSR ์ฒญ์ฃผ๊ณต์ฅ ๋ฉํํฌํ ๋ ์ง์คํธ 2026๋ ์์ฐ ๋ชฉํ ๊ฐ๋
์ฐ์ ๋ถ ํฌํ ๋ ์ง์คํธ·ํจํค์ง ํ๋ฆ ์์ฐ ๊ฑฐ์ ์ง์ญ ๋ค๋ณํ ์ถ์ง
๐ ๋์ง์๋ฏธ์ผ KrF·ArF ํฌํ ๋ ์ง์คํธ ์์ ์ ์์ฐ EUV PR์ ํ ํ ์คํธ ์งํ ์ค
๐ ์ผ๋ณธ JSR ์ถฉ๋ถ ์ฒญ์ฃผ์์ ๋ฉํํฌํ ๋ ์ง์คํธ ์์ฐ ๊ฑฐ์ ๊ตฌ์ถ 2026๋ ์์ฐ ๋ชฉํ
๐ SKํ์ด๋์ค ๋ค์จ ๊ตญ์ฐํ ์ฌ์ฉ ๋น์ค 40% ๊ณต๊ฐ ์ฌํ์ฉ ๊ธฐ์ ๋ ๋ฐํ
๐ 2026๋ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฌ ํฌ์ ํค์๋ ์์จ·์ด·์ ์·ESG·๋ฐ์ดํฐ 5๊ฐ์ง๋ก ์์ถ
โ ์ ์ง๊ธ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฌ ๊ตญ์ฐํ๊ฐ ๋ค์ ํ๋์ธ๊ฐ
๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ ์ด์ผ๊ธฐํ ๋ ํํ ์นฉ ์ค๊ณ ๊ธฐ์ ์ด๋ ๋ฏธ์ธ ๊ณต์ ๋ฅ๋ ฅ์ ๋จผ์ ๋ ์ฌ๋ฆฌ์ง๋ง, ์ค์ ์์ฐ ํ์ฅ์์๋ ์์ฌ ๊ณต๊ธ๋ง์ด ๊ทธ๋งํผ ์ค์ํ ๋ณ์๋ก ์๋ํฉ๋๋ค. ์จ์ดํผ๋ฅผ ๊ฐ๊ณตํ๊ณ ํ๋ก๋ฅผ ์๊ธฐ๊ณ ์ธ์ ·์๊ฐ·์ฆ์ฐฉํ๋ ๋ชจ๋ ๊ณผ์ ์ ํฌํ ๋ ์ง์คํธ, ํน์๊ฐ์ค, ๊ณ ์๋ ํํ๋ฌผ์ง ๊ฐ์ ์๋ง์ ์์ฌ๊ฐ ํ์ํ๋ฐ, ์ด๋ฐ ํ๋ชฉ์ ๋์ฒด๊ฐ ์ฝ์ง ์๊ณ ํ์ง ๊ฒ์ฆ์๋ ์ค๋ ์๊ฐ์ด ๊ฑธ๋ฆฝ๋๋ค.
์ด ๋ฌธ์ ๊ฐ ํ๊ตญ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๋ณธ๊ฒฉ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์ธ๋ ๊ณ๊ธฐ๋ 2019๋ ์ผ๋ณธ์ ์์ถ ๊ท์ ์์ต๋๋ค. ํฌํ ๋ ์ง์คํธ, ํ๋ฃจ์ค๋ฆฐ ํด๋ฆฌ์ด๋ฏธ๋, ๊ณ ์๋ ๋ถํ์์๊ฐ ๊ท์ ๋์์ ํฌํจ๋๋ฉด์ ์์ฐ ์ฐจ์ง ์ฐ๋ ค๊ฐ ํ์คํ๋๊ณ , ์ด๋ฅผ ๊ณ๊ธฐ๋ก ์ ๋ถ์ ๊ธฐ์ ์ ์๋ถ์ฅ(์์ฌ·๋ถํ·์ฅ๋น) ์ฐ์ ์ก์ฑ๊ณผ ๊ณต๊ธ๋ง ๋ค๋ณํ์ ๋ณธ๊ฒฉ์ ์ผ๋ก ์๋๋ฅผ ๋ด๊ธฐ ์์ํ์ต๋๋ค. 2026๋ ํ์ฌ ์ด ํ๋ฆ์ ํ ๋จ๊ณ ๋ ์ง์ ๋ ๋ชจ์ต์ ๋ณด์ด๊ณ ์์ต๋๋ค.
๊ตญ๊ฐ ์ง์ค๋ ์ผ๋ถ ํ๋ชฉ์ ์ฌ์ ํ ์ผ๋ณธ·์ค๊ตญ ๋ฑ ํน์ ๊ตญ ์์กด๋๊ฐ ๋์
ํ์ ํจ๊ณผ ์ผ๋ณธ ์์กด์ด ์ค์ด๋ ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ค๊ตญ ์์กด์ด ์ฑ์ฐ๋ ์ฌ๋ก ๋ฐ์
2026๋ ๋ณํ ND3·๋ฉํํฌํ ๋ ์ง์คํธ ๋ฑ ์ ๊ท ๊ตญ์ฐํ ์ฌ๋ก ์๋ฐ๋ผ ๋ฑ์ฅ
ํนํ ์ฃผ๋ชฉํ ๋ถ๋ถ์ ์๋ฆฝํ์ ๋ฌด๊ฒ์ค์ฌ์ด ๋ค์ ํ๋ค๋ฆฌ๊ณ ์๋ค๋ ์ ์ ๋๋ค. ์ผ๋ณธ ์์กด๋๋ ์ค์์ง๋ง ํน์๊ฐ์ค ์ผ๋ถ์ ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ ๊ด๋ฌผ ์ ์ ๋ฑ์์ ์ค๊ตญ ์์กด์ด ์ปค์ง๋ ํ๋ชฉ์ด ์ ์ง ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ์๋ถ์ฅ ์ ์ฑ ์ ๋ค์ ๊ณผ์ ๊ฐ ๋จ์ํ ๊ตญ์ฐํ๋ฅผ ๋์ด ๊ณต๊ธ์ ๋ค๋ณํ์ ๋ค๋ณํ๋ก ์ฎ๊ฒจ๊ฐ์ผ ํ๋ค๋ ๊ฒ์ ๋ณด์ฌ์ค๋๋ค.
โก ๋ฐ๋์ฒด๋ฅผ ๋ ๋ฐ์น๋ 6๋ ํต์ฌ ์์ฌ ๊ตฌ์กฐ
๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ์ฌ๊ฐ ๊ตฌ๋งค·๊ด๋ฆฌํ๋ ํต์ฌ ํ๋ชฉ์ ํฌ๊ฒ ์ฌ์ฏ ๊ฐ์ง๋ก ๋ถ๋ฅ๋ฉ๋๋ค. ์ ์กฐ์ฅ๋น, ์จ์ดํผ, ํฌํ ๋ ์ง์คํธ(๋ฆฌ์ ์์ฌ), ํน์๊ฐ์ค, ์ต์ํํ ๋ฐ CMP ์์ฌ, ๊ธ์·ํจํค์ง ์์ฌ์ ๋๋ค. ์ด ๊ฐ์ด๋ฐ ์ ์กฐ์ฅ๋น๋ ASML(๋ ธ๊ด), Applied Materials·Lam Research·TEL(์๊ฐ·์ฆ์ฐฉ·์ธ์ ) ๋ฑ ์์ ๊ธฐ์ ์ ๊ณผ์ ๊ตฌ์กฐ๋ผ ๊ตญ์ฐํ๊ฐ ๊ฐ์ฅ ์ด๋ ค์ด ์์ญ์ด๊ณ , ์จ์ดํผ๋ ์ ์์ธ ·SUMCO·SK์คํธ๋ก ๋ฑ์ด ์ฃผ๋ํ๋ ์์ฅ์ ๋๋ค.
๋ฐ๋ฉด ํฌํ ๋ ์ง์คํธ์ ํน์๊ฐ์ค๋ ๋น๊ต์ ๊ตญ๋ด ๊ธฐ์ ์ ์ง์ ๊ณผ ๊ธฐ์ ์ถ์ ์ด ํ๋ฐํ๊ฒ ์งํ๋์ด ์จ ์์ญ์ ๋๋ค. ํฌํ ๋ ์ง์คํธ๋ ํ๋ก๋ฅผ ์๊ธฐ๋ ๊ฐ๊ด์ก์ผ๋ก, ๋์ง์๋ฏธ์ผ์ด 1989๋ ์ธ๊ณ ๋ค ๋ฒ์งธ๋ก ๊ตญ๋ด ์ต์ด ๊ฐ๋ฐ์ ์ฑ๊ณตํ ์ด๋ ๊ตญ๋ด ์๋ถ์ฅ ์ฐ์ ์ ์์ง์ ์ธ ํ๋ชฉ์ด ๋์ต๋๋ค. ํน์๊ฐ์ค๋ ๋ ธ๊ด๊ณผ ์๊ฐ ๊ณต์ ์ ์ฐ์ด๋ ๋ค์จ·์๋ฅด๊ณค·ํฌ๋ฆฝํค·์ ๋ ผ ๋ฑ์ด ๋ํ์ ์ด๋ฉฐ, ๊ณต์ ์ด ๊ณ ๋ํ๋ ์๋ก ๊ฐ์ค์ ์๋์ ๊ณต๊ธ ์์ ์ฑ์ด ๋์ฑ ์ค์ํ ๊ฒฝ์ ์์๋ก ๋ถ์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.

2026๋ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฌ·๋ถํ ํฌ์์์ ์ ๋ง ๋ถ์ผ๋ก ๊ผฝํ๋ ์์ญ๋ ์ด ๊ตฌ์กฐ์ ๋ง๋ฌผ๋ฆฝ๋๋ค. HBM·์ฒจ๋จํจํค์ง ์์ฌ, ์๊ฐ·์ฆ์ฐฉ ์ฑ๋ฒ ํ์ธ ์ ์ธ์ ·์ฌ์, EUV ๋์ ์ผ๋ฏธ์ปฌ(ํฌํ ๋ ์ง์คํธ·์คํธ๋ฆฌํผ·์ฌ๋ฌ๋ฆฌ), ํน์๊ฐ์ค, AI ๋ฉํธ๋กค๋ก์ง ๋ฑ์ด ์์๊ถ์ ์ฌ๋ผ ์์ผ๋ฉฐ, ํต์ฌ ํ๊ฐ ์งํ๋ก๋ ์์จ·์ด·์ ์·ESG·๋ฐ์ดํฐ ๋ค์ฏ ๊ฐ์ง๊ฐ ์ ์๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
โข ํฌํ ๋ ์ง์คํธ ๊ตญ์ฐํ ์ด๋๊น์ง ์๋
ํฌํ ๋ ์ง์คํธ ๊ตญ์ฐํ๋ ๋ ๊ฐ๋๋ก ๋๋ ๋ณผ ํ์๊ฐ ์์ต๋๋ค. ๊ธฐ์กด ๊ณต์ ์ฉ(KrF, ArF, ArF Immersion) ํฌํ ๋ ์ง์คํธ๋ ๋์ง์๋ฏธ์ผ์ ๋น๋กฏํ ๊ตญ๋ด ๊ธฐ์ ๋ค์ด ์ด๋ฏธ ์ผ์ฑ์ ์, SKํ์ด๋์ค ๋ฑ์ ์์ ์ ์ผ๋ก ๊ณต๊ธํ๊ณ ์๋ ์์ญ์ ๋๋ค. ์ต๊ทผ์๋ ๋์ง์๋ฏธ์ผ์ V-NAND์ฉ KrF ๋๊บผ์ด ํฌํ ๋ ์ง์คํธ๊ฐ ์ธ๊ณ์ผ๋ฅ์ํ์ผ๋ก ์ ์ ๋๋ฉฐ ๊ณ ๋์ด๋ ์์นญ ๊ณต์ ์์์ ๊ธฐ์ ๋ ฅ์ ๋ค์ ํ๋ฒ ํ์ธํ์ต๋๋ค.
๋ฐ๋ฉด ์ต์ฒจ๋จ ๋ฏธ์ธ๊ณต์ ์ ์ฐ์ด๋ EUV ํฌํ ๋ ์ง์คํธ๋ ์ฌ์ ํ ์๋ฆฝ๊น์ง ๊ฐ ๊ธธ์ด ๋จ์์๋ ์์ญ์ ๋๋ค. ๋์ง์๋ฏธ์ผ์ ๊ตญ๋ด ์ต์ด๋ก EUV PR์ ๊ฐ๋ฐํด ํ ํ ์คํธ๋ฅผ ์งํํ๋ฉฐ ์์ฉํ๋ฅผ ์ถ์งํ๊ณ ์๊ณ , ์์ฉํ์ ์ฑ๊ณตํ๋ฉด ์ผ์ฑ์ ์์ EUV ๊ณต์ ๊ฒฝ์๋ ฅ ๊ฐํ์ ๊ธฐ์ฌํ ๊ฒ์ผ๋ก ๊ธฐ๋๋ฉ๋๋ค. ํํธ ํฅ๋ฏธ๋ก์ด ์ ์ ๊ธ๋ก๋ฒ ํฌํ ๋ ์ง์คํธ 1์ ๊ธฐ์ ์ธ ์ผ๋ณธ JSR์ด ์ถฉ๋ถ ์ฒญ์ฃผ์ ๋ฉํํฌํ ๋ ์ง์คํธ ์์ฐ๊ณต์ฅ์ ์ง๊ณ 2026๋ ์์ฐ์ ๋ชฉํ๋ก ํ๊ณ ์๋ค๋ ์ฌ์ค์ ๋๋ค. ์ด๋ ๊ตญ๋ด์ ์์ฐ ๊ฑฐ์ ์ด ๋ง๋ จ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก, ํด์ธ ๊ธฐ์ ์์กด์ด๋ผ๋ ๋ณธ์ง์ ๋จ์ง๋ง ์ ์ด๋ ์์ถ ํต์ ๋ฆฌ์คํฌ์์๋ ์์ ๋ก์์ง๋ ํจ๊ณผ๊ฐ ์์ต๋๋ค.
| ๊ตฌ๋ถ | ํํฉ | ์ฃผ์ ๊ธฐ์ |
|---|---|---|
| KrF·ArF ํฌํ ๋ ์ง์คํธ | ๊ตญ์ฐํ ์๋ฃ ์์ ์์ฐ | ๋์ง์๋ฏธ์ผ |
| EUV ํฌํ ๋ ์ง์คํธ | ๊ตญ๋ด ์ต์ด ๊ฐ๋ฐ ํ ํ ์คํธ ์งํ | ๋์ง์๋ฏธ์ผ |
| ๋ฉํํฌํ ๋ ์ง์คํธ | ๊ตญ๋ด ์์ฐ ๊ฑฐ์ ๊ตฌ์ถ 2026๋ ์์ฐ ๋ชฉํ | JSR(๊ตญ๋ด ์ฒญ์ฃผ๊ณต์ฅ) |
| ๋ถํ์์(์๊ฐ๊ฐ์ค) | 2019๋ ๊ท์ ์ดํ ๊ตญ์ฐํ ์งํ ์ค | ์๋ธ๋ ์ธ ๋ฑ |
โฃ ํน์๊ฐ์ค ์๋ฆฝ ๋ค์จ๋ถํฐ ND3๊น์ง
ํน์๊ฐ์ค๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์์ '๋ณด์ด์ง ์๋ ๊ฒฝ์๋ ฅ'์ผ๋ก ๋ถ๋ฆฝ๋๋ค. ์ธ์ ๊ณต์ ์์๋ ํ์ด๋๋กํ๋ฃจ์ค๋ฆญ ๊ฐ์ค์ ์ค์กด์ด, ๋ ธ๊ด๊ณผ ์๊ฐ ๊ณต์ ์์๋ ๋ค์จ·ํฌ๋ฆฝํค·์ ๋ ผ ๊ฐ์ ํฌ๊ท๊ฐ์ค๊ฐ ํต์ฌ์ ์ผ๋ก ์ฐ์ด๋๋ฐ, ๊ณต์ ์ด ์ ๋ฐํด์ง์๋ก ๊ฐ์ค์ ์๋๊ฐ ์นฉ์ ์ฑ๋ฅ๊ณผ ์์จ์ ์ง์ ์ ์ผ๋ก ์ข์ฐํฉ๋๋ค.
ํ๊ตญ์ ํน์๊ฐ์ค ์๋ฆฝ์ 2019๋ ์ดํ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์งํ๋์ต๋๋ค. SKํ์ด๋์ค๋ ๋ค์จ ๊ตญ์ฐํ ์ฌ์ฉ ๋น์ค์ด 40%์ ์ด๋ฅธ๋ค๊ณ ๊ณต๊ฐํ๊ณ , ๋ค์จ ์ฌํ์ฉ ๊ธฐ์ ๋ ๋ณ๋๋ก ๋ฐํํ๋ฉฐ ๊ณต๊ธ๋ง ๋ฆฌ์คํฌ๋ฅผ ์ค์ฌ์์ต๋๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ 2026๋ 6์์๋ ์๋ก์ด ์ง์ ์ด ๋์์ต๋๋ค. ํ๊ตญ์๋์ง๊ธฐ์ ์ฐ๊ตฌ์์ด ๋ฐ๋์ฒด ์์ ๊ฒฐํจ์ ์ต์ ํ๋ ๊ณ ์๋ ์ค์์ ์๋ชจ๋์(ND3)๋ฅผ ๊ตญ๋ด ์ต์ด๋ก ๊ฐ๋ฐํ๋ ๋ฐ ์ฑ๊ณตํ ๊ฒ์ ๋๋ค. ๊ทธ๋์ ์ผ๋ณธ๊ณผ ์ค๊ตญ ๊ณต๊ธ์ ์์กดํด์จ ์ด ์์ฌ๋ฅผ ์์ฒด ๊ฐ๋ฐํ ๋ฃจํ ๋ ์ด๋งค๋ก ํ๋ฃจ 7.7kg ๊ท๋ชจ, ์๋ 99% ์ด์์ผ๋ก ์์ฐํ๋ ๋ฐ ์ฑ๊ณตํ๊ณ , ํฅํ ์์ฐ ๊ท๋ชจ ํ๋์ ํด์ธ ์์ฅ ์ง์ถ๊น์ง ์ถ์งํ ๊ณํ์ ๋๋ค.

๋ค๋ง ๋ชจ๋ ํน์๊ฐ์ค์ ๊ฐ์ ์์ค์ ๋์์ด ๊ฐ๋ฅํ๋ ๊ฒ์ ์๋๋๋ค. EUV ๊ณต์ ์ ํ์์ ์ธ ๋ค์จ·ํฌ๋ฆฝํค·์ ๋ ผ ๋ฑ ์ผ๋ถ ํฌ๊ท๊ฐ์ค๋ ์ฌ์ ํ ๋จ์ผ ๊ตญ๊ฐ ์์กด๋๊ฐ ๋๊ณ , ํ์ง ๊ฒ์ฆ์ ๋ฒฝ๋ ๋จ์์์ต๋๋ค. 2022๋ ๋ฌ์์·์ฐํฌ๋ผ์ด๋ ์ ์ ๋น์ ๋ค์จ·์๋ฅด๊ณค ๊ณต๊ธ ์ฐ๋ ค๊ฐ ๋ถ๊ฐ๋๋ ์ฌ๋ก์ฒ๋ผ, ์ง์ ํ์ ๋ณ์๊ฐ ์ค์ ๊ณต๊ธ ๋ถ์กฑ์ด ๋ฐ์ํ๊ธฐ ์ ๋ถํฐ ๊ฐ๊ฒฉ๊ณผ ๊ณ์ฝ ์กฐ๊ฑด์ ํ๋ค ์ ์๋ค๋ ์ ๋ ๊ณ์ ์ฃผ์ํด์ผ ํ ๋ฆฌ์คํฌ์ ๋๋ค.
โค ์๋ฆฝ ์ ๋ต์ด ํฌ์์์๊ฒ ์ฃผ๋ ์์ฌ์
๋ฐ๋์ฒด ์์ฌ ๊ตญ์ฐํ ํ๋ฆ์ด ํฌ์์์๊ฒ ๋์ง๋ ๋ฉ์์ง๋ ๋จ์ํ '๊ตญ์ฐํ ํ ๋ง'๋ฅผ ๋์ด์ญ๋๋ค. ํต์ฌ์ ๊ตญ์ฐํ ๋ฐํ ์์ฒด๋ณด๋ค, ๊ทธ ์์ฌ๊ฐ ์ค์ ๋ก ๋ํ ๊ณ ๊ฐ์ฌ์ ์ผ๋ง๋ ์์ ์ ์ผ๋ก ๊ณต๊ธ๋๊ณ ์๋์ง, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๊ณ ๋ถ๊ฐ๊ฐ์น ์์ญ(EUV·HBM·์ฒจ๋จํจํค์ง)์ผ๋ก ์ผ๋ง๋ ํ์ฅํ๊ณ ์๋์ง๋ฅผ ํจ๊ป ๋ณด๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
โ ํน์๊ฐ์ค ๋ค์จ ๊ตญ์ฐํ ๋น์ค 40% ND3 ๊ตญ๋ด ์ต์ด ๊ฐ๋ฐ ์ฑ๊ณต
โ ๋จ์ ๊ณผ์ EUV์ฉ ํฌ๊ท๊ฐ์ค์ ์ฒจ๋จ ์ฅ๋น ๋ถํ์ ์ฌ์ ํ ํด์ธ ์์กด
โ ํ์ ํจ๊ณผ ์ฃผ์ ์ผ๋ณธ ์์กด ๊ฐ์๊ฐ ์ค๊ตญ ์์กด ์ฆ๊ฐ๋ก ์ด์ด์ง๋ ํ๋ชฉ ์กด์ฌ
โ ์ง์ง ํต์ฌ ๊ตญ์ฐํ ๋ฐํ๋ณด๋ค ๊ณ ๊ฐ ์ธ์ฆ๊ณผ ์์ฐ ๋ ํผ๋ฐ์ค ํ๋ณด ์ฌ๋ถ๊ฐ ์ค์
๋ณธ ํฌ์คํ ์ ํฌ์ ์ ๋ณด ์ ๊ณต ๋ชฉ์ ์ผ๋ก ์์ฑ๋์์ผ๋ฉฐ ํน์ ์ข ๋ชฉ์ ๋งค์·๋งค๋๋ฅผ ๊ถ์ ํ์ง ์์ต๋๋ค. ์ฃผ์ ํฌ์๋ ์๊ธ ์์ค ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์์ผ๋ฉฐ, ํฌ์์ ์ต์ข ํ๋จ๊ณผ ์ฑ ์์ ํฌ์์ ๋ณธ์ธ์๊ฒ ์์ต๋๋ค. ๋ณธ ๋ด์ฉ์ 2026๋ 6์ 26์ผ ํ์ฌ ๊ณต๊ฐ๋ ์ ๋ณด๋ฅผ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ์์ฑํ์ต๋๋ค.
๋์ ๋ณด์ด์ง ์๋ ์์ฌ ํ๋๊ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ์ด๋ช ์ ๊ฐ๋ฅด๋ ํ ์ฃผ์์ต๋๋ค.